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◇各個接觸排氣氣體的部件都有PTEE制成 ◇適用于腐蝕性氣體或有機溶液 ◇真空度高，能抽至1000Pa

◇潔凈真空 由于無油、不會返流至泵內，因此可以得到潔凈的真空。 ◇低噪音、低振動 渦線管優良的平衡性，降低了噪音和振動。

ULVAC機工的直聯型油旋片式真空泵，是由葉片旋轉工作的蓋德式真空泵。泵油的作用是潤滑旋轉機件、密封真空泵箱，從而達到優良、可靠、穩定的真空。

1.在吸氣管下有油回流防止機構，與檢查閥門一起，雙重確保真空泵停止時不會產生油回流。 2.配有寬電壓馬達，適用于世界各地。 3.升級后減少了噪音和振動，噪音值小于48/50db。

.在吸氣管下有油回流防止機構，與檢查閥門一起，雙重確保真空泵停止時不會產生油回流。 2.配有寬電壓馬達，適用于世界各地。 3.升級后減少了噪音和振動，噪音值小于48/50db。